石英玻璃是由二氧化硅(SiO2)單一組分構(gòu)成的特種工業(yè)技術(shù)玻璃。由于其具有耐溫、耐酸(氫氟酸和熱磷酸除外)、低膨脹和極佳的光譜透過性等特殊的理化性能,現(xiàn)已成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的重要材料,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、光通訊、電光源等高新技術(shù)領(lǐng)域,尤其是半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域中,石英玻璃是不可缺少的輔助材料。
由于石英玻璃具有一系列優(yōu)異的綜合性能使其他材料難以替代,尤其在微電子、信息、激光、航空航天、國防軍工以及新型電光源等高科技領(lǐng)域被更廣泛地應(yīng)用,是國家戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)和支柱性產(chǎn)業(yè)發(fā)展中不可替代的高純基礎(chǔ)材料。據(jù)不完全統(tǒng)計(jì),世界石英玻璃行業(yè)每銷售1億美元產(chǎn)品,就能使相關(guān)產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)近萬億美元的收入,由此促進(jìn)高新技術(shù),特別是微電子工業(yè)的迅速發(fā)展,從而又進(jìn)一步拉動了石英玻璃市場需求量的增長,現(xiàn)其年平均增長率已超過30%,遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于一般工業(yè)產(chǎn)品的增長速度。
進(jìn)口形勢待扭轉(zhuǎn)
我國石英行業(yè)從上世紀(jì)60年代開始起步,70年代逐漸發(fā)展形成較為完整的產(chǎn)業(yè),到上世紀(jì)80年代后期,石英玻璃行業(yè)才得以迅速發(fā)展,技術(shù)根源日趨成熟,機(jī)械裝備得到充分改進(jìn)和完善,石英玻璃行業(yè)的發(fā)展出現(xiàn)新的局面。
國內(nèi)石英企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模都較小,幾十家企業(yè)當(dāng)中年產(chǎn)值過億元的只有兩家,產(chǎn)值千萬元以上的不超出10家。產(chǎn)品檔次低,遠(yuǎn)遠(yuǎn)跟不上我國信息、微電子等高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的需求。
發(fā)達(dá)國家均將石英玻璃作為新材料的重要組成部分,放在優(yōu)先發(fā)展的地位并加以支持。我國也將石英玻璃列入了國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)這次的重點(diǎn)支持對象。石英玻璃產(chǎn)業(yè)有了長足發(fā)展,微電子、信息、國防等支柱產(chǎn)業(yè)和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)所需大量石英玻璃,目前國內(nèi)產(chǎn)品的性能還遠(yuǎn)不能滿足要求,大部分依靠進(jìn)口供應(yīng)。
在微電子工業(yè)用超純石英玻璃制品領(lǐng)域,德國勞氏公司已可生產(chǎn)40英寸超大直徑的石英坩堝產(chǎn)品,純度(13種雜質(zhì)元素的總含量)可達(dá)2ppm,生產(chǎn)的大規(guī)格石英管直徑可達(dá)500mm以上,純度在10ppm以下,基本無波紋。在光纖用光波導(dǎo)級石英包層管領(lǐng)域,美國和德國生產(chǎn)的純度較高,二氧化硅含量大于五個9,OH含量≤1ppm。而在航天技術(shù)用宇航級光學(xué)石英玻璃、激光技術(shù)用超純合成石英玻璃領(lǐng)域,國外可做到直徑750mm以上,雜質(zhì)含量≤01ppm,滿足光學(xué)級三個一類要求。
市場迅速爬升
近些年來,由于我國不斷加大對電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展力度,同時也促進(jìn)了石英玻璃市場需求量的迅速增長。
在微電子領(lǐng)域,對消耗性的關(guān)鍵材料石英玻璃擴(kuò)散管、坩堝、儀器器皿等石英制品的需求正與日俱增。4英寸~8英寸電路用石英擴(kuò)散管的需求量在“十一五”時期達(dá)到了2萬支/年;8英寸~12英寸也大幅度增加。石英坩堝按生產(chǎn)硅單晶的級別分為電子級和太陽能級。2004年硅單晶產(chǎn)量為1725噸,太陽能電池硅單晶約占58%,市場年增長率為27.5%,坩堝的年產(chǎn)量已超過10萬只,市場占有率不斷提高。
國內(nèi)光纖市場以每年12%速度遞增。2004年沉積管和套管的需求量為300噸,國內(nèi)僅能生產(chǎn)20噸。
我國電光源石英玻璃生產(chǎn)企業(yè)已有40多家,擁有連熔爐近100多臺,“十一五”期間的市場平均增長率在20%左右,石英管的總產(chǎn)量約53500噸。
標(biāo)準(zhǔn)逐漸成熟
中國建筑材料研究總院教授級高工石新勇、陳璐、王睿、吳潔、孫云蓉等專家撰寫的《我國工業(yè)玻璃與特種玻璃標(biāo)準(zhǔn)體系現(xiàn)狀分析及展望》文章指出:我國石英玻璃標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)狀,該領(lǐng)域共有29項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn),產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)20項(xiàng)(國家標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng)),方法標(biāo)準(zhǔn)9項(xiàng)(國家標(biāo)準(zhǔn)5項(xiàng)),另有4項(xiàng)新產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)列入2008年行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制訂計(jì)劃。2008年是石英玻璃標(biāo)準(zhǔn)復(fù)審的高峰期,有12項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)得到修訂。
隨著我國經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,一些玻璃新品種、新技術(shù)已經(jīng)形成和正在進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化,資源再生利用、節(jié)約能源、保護(hù)環(huán)境方面的產(chǎn)品日新月異,我國已開始對低溫噴涂玻璃、無鉛封接玻璃、防微波輻射玻璃、電磁屏蔽玻璃等產(chǎn)品進(jìn)行科研研究和應(yīng)用推廣,計(jì)劃根據(jù)進(jìn)展情況,盡快將成熟的產(chǎn)品納入標(biāo)準(zhǔn)。新產(chǎn)品的納標(biāo),能夠優(yōu)化我國工業(yè)玻璃與特種玻璃品種結(jié)構(gòu)。
石英玻璃器件有三大類:第一類是石英玻璃儀器,有分餾提純塔、純水蒸餾塔、半導(dǎo)體工業(yè)用擴(kuò)散管、試劑提純設(shè)備、蒸發(fā)器等;第二類是石英玻璃器皿容器。品種和規(guī)格有幾百種,用途很廣,從化驗(yàn)室到半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)都要大量使用。第三類是石英玻璃型材,有板、片、法蘭、棒、棍、桿等,主要用于大型芯片加工的單片機(jī)石英材料、光刻基片、光電顯示器板、光纖拉絲用支撐桿等。石英玻璃器件產(chǎn)品占石英玻璃工業(yè)總產(chǎn)值的1/3以上。
近年來石英玻璃行業(yè)在生產(chǎn)工藝技術(shù)裝備,質(zhì)量都有極大的提高。在石英玻璃器件加工方面有突出進(jìn)步,在發(fā)展太陽能電池用石英器件方面有突破性進(jìn)展,受到國內(nèi)生產(chǎn)太陽能電池的大型企業(yè)、公司等先進(jìn)企業(yè)確認(rèn),生產(chǎn)的石英器件完全滿足要求,產(chǎn)品質(zhì)量已達(dá)到國際先進(jìn)水平。從相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展來看,我國石英玻璃仍將保持年平均15%~20%的增長速度。信息產(chǎn)業(yè)用石英玻璃的增長速度仍大于電光源用石英玻璃。