主要技術(shù)參數(shù):
1. 極限真空度:8.0x10-4Pa;
2. 工作真空度:6.67x10-3Pa;
3. 抽速:從大氣抽至6.67x10-3Pa,<7分鐘;
4. 壓升率:0.45Pa/小時(shí);
5. 自轉(zhuǎn)軸中心距:120mm;
6. 工位:10個(gè)(工件架最大自轉(zhuǎn)半徑為85mm);
7. 電氣控制系統(tǒng):PLC全自動(dòng)控制,可動(dòng)行多種工藝設(shè)置。
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