主要技術(shù)參數(shù):
1. 極限真空度:4.0x10-4Pa;
2. 工作真空度:6.67x10-3Pa;
3. 抽速:從大氣抽至6.67x10-3Pa,<8分鐘;
4. 壓升率:0.4Pa/小時;
5. 自轉(zhuǎn)軸中心距:155mm;
6. 工位:10個(工件架最大自轉(zhuǎn)半徑為120mm);
7. 電氣控制系統(tǒng):PLC全自動控制,可動行多種工藝設(shè)置;
詳情請登陸公司網(wǎng)站
www.vleadvac.com 或 電話咨詢 024-25359076