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“大規(guī)模集成電路產業(yè)用8英寸立式石英籠舟加工技術”科技成果鑒定結果公示

放大字體 縮小字體 發(fā)布日期:2012-09-14 瀏覽次數:2704
核心提示:委托人:北京凱德石英有限公司評審鑒定時間:2012年9月13日地點:北京市評審鑒定結論: 一、項目結合大規(guī)模集成電路產業(yè)用立式石
委托人:北京凱德石英有限公司
評審鑒定時間:2012年9月13日
地點:北京市
評審鑒定結論:
       一、項目結合大規(guī)模集成電路產業(yè)用立式石英籠舟結構復雜、配件多、加工精度要求高、加工難度大等特點,成功開發(fā)了8英寸立式石英籠舟加工技術,其關鍵技術和主要創(chuàng)新點如下:
       1、采用自行設計的模具、調直處理的開槽棒,有效控制了開槽精度,全長1034mm累計槽間距誤差小于0.1mm;
       2、集成采用自主開發(fā)的全熔焊接工藝、冷熱加工技術、分步焊接技術、退火技術,消除了應力,減少了變形,提高了焊接精度和產品質量;
       3、研制了專用卡具、模具和焊接平臺,開發(fā)了石英環(huán)片加工技術,有效地解決了石英環(huán)片支架焊接的準確定位問題,實現復雜結構8英寸立式石英籠舟的精準焊接加工。
       二、該成果產品于2011年2月以來,已有數批成功應用在有研半導體材料股份有限公司的集成電路芯片生產線上,并出口國外,用戶反映產品性能穩(wěn)定,外觀和尺寸精度均達到國外同類產品水平。該產品加工技術綜合水平達國內領先。
       三、該成果突破了國外的技術壁壘,實現了8英寸立式石英籠舟加工技術的國產化,對推動國內石英玻璃工業(yè)、微電子工業(yè)和相關產業(yè)的技術進步與發(fā)展具有重要意義。
       建議:進一步優(yōu)化生產工藝,促進成果的量產化進程,以滿足市場需求。
       對該項目的鑒定如有異議,請于公示之日起20日內向中國建筑材料聯合會科技部反映(電話:010-57811105,聯系人:潘東暉)。
                                                                              中國建筑材料聯合會科技部
                                                                                   二〇一二年九月十四日
 
鑒 定 委 員 會 名 單
序號
姓名
工作單位
從事專業(yè)
職稱/職務
1
王玉芬
中國建筑材料科學研究總院
玻璃
 
2
田民波
清華大學
材料科學與工程
 
3
張佰恒
中國建筑玻璃與工業(yè)玻璃協會
玻璃
 
4
楊家茂
中國建筑玻璃與工業(yè)玻璃協會石英玻璃專業(yè)委員會
石英玻璃
 
5
王友軍
北京金格蘭石英玻璃有限公司
石英玻璃
 
6
魯 瑾
中國電子材料協會
電子材料
 
7
楊學東
國家安全玻璃及石英玻璃質量監(jiān)督檢驗中心
石英玻璃檢測
 
8
張 錦
久智光電子材料科技有限公司
石英玻璃
 
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