超薄電子玻璃是指厚度在0.1~1.1mm范圍內(nèi)的的電子玻璃。電子玻璃系指可應(yīng)用于電子、微電子、光電子領(lǐng)域的一類高技術(shù)產(chǎn)品,主要用于制作集成電路以及具有光電、熱電、聲光、磁光等功能元器件的玻璃材料?;宀A悄壳霸谖㈦娮印⒐怆娮雍托履茉吹雀咝录夹g(shù)中應(yīng)用最廣、發(fā)展最快的特種玻璃之一。主要包括液晶和太陽(yáng)能電池用基板;存儲(chǔ)器(磁盤和光盤)用基板;光掩膜基板(又稱制版玻璃),這是集成電路制作過(guò)程中制備光刻用的光掩膜板。現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展離不開(kāi)這些電子玻璃。
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