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質(zhì)量流量計(jì)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量；質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。他們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)撒、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、色相譜儀及其它分析儀器。
D07系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)，其操作使用方面，可任意位置安裝，并便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。
D07系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)一般與D08系列流量顯示儀等產(chǎn)片配套使用，控制器與顯示儀之間用專用電纜連接。
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D07系列質(zhì)量流量計(jì)