主要技術(shù)參數(shù):
1. 極限真空度:8.0x10-4Pa;
2. 工作真空度:6.67x10-3Pa;
3. 抽速:從大氣抽至6.67x10-3Pa,<7分鐘;
4. 壓升率:0.45Pa/小時;
5. 自轉(zhuǎn)軸中心距:120mm;
6. 工位:10個(工件架最大自轉(zhuǎn)半徑為85mm);
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真空鍍膜機(jī)PVD1006
詳細(xì)信息 主要技術(shù)參數(shù): 1. 極限真空度:8.0x10-4Pa;
2. 工作真空度:6.67x10-3Pa;
3. 抽速:從大氣抽至6.67x10-3Pa,<7分鐘;
4. 壓升率:0.45Pa/小時;
5. 自轉(zhuǎn)軸中心距:120mm;
6. 工位:10個(工件架最大自轉(zhuǎn)半徑為85mm);
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