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主要技術(shù)參數(shù)：
1. 極限真空度：4.0x10-4Pa；
2. 工作真空度：6.67x10-3Pa；
3. 抽速：從大氣抽至6.67x10-3Pa，＜8分鐘；
4. 壓升率：0.4Pa/小時(shí)；
5. 自轉(zhuǎn)軸中心距：155mm；
6. 工位：10個(gè)（工件架最大自轉(zhuǎn)半徑為120mm）；
7. 電氣控制系統(tǒng)：PLC全自動(dòng)控制，可動(dòng)行多種工藝設(shè)置；
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