蝕刻清洗臺
適用產業(yè):半導體照明(LED)--PSS工藝段、外延工藝段、芯片工藝段;
控制模式:手動控制模式、自動控制模式;
制程應用:顯影制程; 蝕刻(微蝕刻)制程;去光阻清洗制程;去蠟(膠)清洗制程;精密清洗制程;光罩去光阻清洗制程
適用產業(yè):半導體照明(LED)--PSS工藝段、外延工藝段、芯片工藝段;
控制模式:手動控制模式、自動控制模式;
制程應用:顯影制程; 蝕刻(微蝕刻)制程;去光阻清洗制程;去蠟(膠)清洗制程;精密清洗制程;光罩去光阻清洗制程
自動片盒清洗機
適用產業(yè):半導體照明(LED)--半導體材料、半導體分立器件、集成電路、MEMS、有機發(fā)光二級管(OLED)、太陽能光伏等;
控制模式:手動控制模式、自動控制模式;
制程應用:濕法清洗制程;
適用對象:晶片盒