磷化銦半導(dǎo)體材料清洗線
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磷化銦半導(dǎo)體材料清洗線
詳細信息 磷化銦半導(dǎo)體材料清洗線 清洗工件為磷化銦半導(dǎo)體材料,清洗規(guī)格2寸25片裝每籃,4寸25片裝每籃,濕法制程清洗工藝,控制方式半自動,全自動可選。全自動控制設(shè)備機臺總體結(jié)構(gòu):機械運行機構(gòu)裝置與機臺上方(可拆卸);機臺前方為清洗工作區(qū)域,機臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域,后下方為液路布置區(qū)域;運行穩(wěn)定,適合于磷化銦半導(dǎo)體材料生產(chǎn)線各清洗工藝;也可應(yīng)用于其他半導(dǎo)體器件的其他規(guī)格的主流襯底晶片的清洗。 共0條 相關(guān)評論 |