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外延石英鐘罩清洗機
※ 名稱：外延石英鐘罩清洗機;
※ 控制模式: 手動控制模式 自動控制模式;
※ 清洗能力: 1）9010mm*1170mm 2) 471mm*155mm 3) 1200mm* Φ417mm 4）900mm石英件等 1件/批；
※ 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型;
※ 機臺總體結(jié)構(gòu)定分為兩部分；機臺前方為清洗工作區(qū)域，機臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液路布置區(qū)域，清洗臺設(shè)有記憶模塊;
※ 可根據(jù)需要定時定量補充槽體藥液;
※ 工藝參數(shù)（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調(diào)）手動由觸摸屏界面可設(shè)定;
※ 設(shè)備臺面排列為單排多工位，布局按用戶要求。