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新聞中心 上海伯東普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀用于PECVD鍍膜設(shè)備檢漏
發(fā)布時間:2015-03-02 瀏覽次數(shù):266 返回列表
氦質(zhì)譜檢漏儀用于 PECVD 鍍膜設(shè)備檢漏 德國Pfeiffer HLT 560 氦質(zhì)譜檢漏儀用于PECVD 鍍膜設(shè)備檢漏應(yīng)用實例(福建最大的太陽能晶體矽電池制造公司) 一、鍍膜設(shè)備檢漏原因 福建最大的太陽能晶體矽電池制造公司, 專業(yè)生產(chǎn)太陽能單晶和多晶電池片. 該公司在生產(chǎn)過程中應(yīng)用了PECVD沉積 Si3N3減反層, 4-5天設(shè)備需要保養(yǎng)一次(清潔MASK, 更換支架等等), 由于是清潔設(shè)備內(nèi)部, 所以存在內(nèi)部腔體密封性失效的可能. 如果鍍膜設(shè)備密封性不好, 鍍出來的產(chǎn)品膜厚會不均勻, 產(chǎn)品四周膜參數(shù)會不合格. 如果鍍膜設(shè)備保養(yǎng)完成后, 能做一次檢漏, 就可以避免很多不合格產(chǎn)品的產(chǎn)生, 達到節(jié)約生產(chǎn)成本的目的. 德國 Pfeiffer的HLT 560 氦質(zhì)譜檢漏儀具有操作簡單, 反應(yīng)靈敏的特點, 得到了客戶的青睞. 二、鍍膜設(shè)備檢漏操作 示意圖如下: (1).將氦質(zhì)譜檢漏儀 HLT 560連接到泵組前的檢漏口上. (2).啟動檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時啟動鍍膜設(shè)備的泵組. (3).在鍍膜機內(nèi)部的真空下降到一定程度的時候,如0.5 mbar以下的時候,拿氦氣噴在懷疑有漏的地方,或者檢查標準保養(yǎng)時動到的部位.這時需要有人觀察檢漏儀的漏率指示值的變化.當漏率上升或漏率值變化劇烈的時候,及時指出漏點所在位置,并做記號. (4).所有可疑點都檢測完成后,關(guān)閉檢漏儀,停下鍍膜機的泵組并將鍍膜機打開,將檢測出的漏點進行處理(如更換密封圈,清潔等等).處理完成后,再按照前敘步驟檢查一遍,直到所有漏點都被清除,檢漏過程完成. 若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式: 上海伯東:周舟 臺灣伯東:Miss Wang T: +86-21-5046-3511 ext 106或總機0 T: +886 (03) 567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490 F: +886 (03) 567-0049 M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958 E:ec@hakuto-vacuum.cn E:ec@hakuto.com.tw www.hakuto-vacuum.cn www.hakuto-vacuum.com.tw |